정밀장비 진동 관리 기준 안내

당사는 정밀장비의 최적 성능 유지와 안정적인 운영을 위한 진동 측정 및 평가 서비스를 제공합니다.

정밀장비는 미세한 진동에도 성능 저하가 발생할 수 있어, VC-Curve와 같은 엄격한 관리 기준을 적용해야 합니다.

당사는 최신 장비와 전문 기술력을 바탕으로 진동 관리 기준 준수 여부를 평가하고 최적의 저감 솔루션을 제안합니다.

1. 정밀장비 진동관리 기준이란?

  1-1 영국의 콜린고든이 마이크로 단위의 제조장비의 진동기준에 관한 논문을 발표 하였는데 해당 논문에서 정밀장비 진동관리 기준을 제시 하였고 제시한 기준이 우리가 흔히 아는 VC-Curve, BBN-Criterion이 되었다.

 1-2 VC-Curve는 Vibration criterion curve의 약자로 진동 기준곡선의 뜻을 담고 있고 해당 기준은 정밀장비가 놓일 건물의 바닥진동에 대한 평가 기준이다.

 1-3 해당 기준에서 제시하는 진동의 수준은 반도체 및 디스플레이와 같은 첨단 산업의 정밀장비에는 영향이 크지만 사람의 감각의 영역에서는 알 수 없는 미진동을 다루고 있어, 실제로 정밀한 계측이 가능한 장비를 이용하여 측정을 진행하고 평가하게 된다.

 1-4 VC-Curve는 1/3 Octave band로 측정 표기하며, SEM, TEM 장비의 경우 VC-D ~ VC-E 수준의 진동기준을 요구하는 장비회사들이 늘어가는 추세이다.

2. VC 등급의 이해

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  2-1. 일반적으로 A,B,C등급을 나누게 될 때는 A등급은 좋은 등급 C등급은 안좋은 등급이라고 생각하는게 일반적인 통념이다. 그러나 VC등급에서는 A가 가장 높은 진동 수준을 갖는 즉 가장 안좋은 등급이고 VC-E로 갈수록 더 낮은 진동 수준을 갖는 가장 좋은 등급이라고 반대로 생각하고 이해하면 편하다.

 2-2. VC등급은 VC-A부터 VC-G까지 나누어져 있으며, 일반 공장부터 사무실, 주거지, 연구 실 바닥을 포함하여, 등급 별 적용 장비의 가이드 라인을 다루고 있다.

 2-3. 반도체 및 디스플레이와 2차 전지등 첨단산업의 발전과 더불어 산업군에서 사용하는 정밀장비의 고도화로 인해 앞으로 진동에 대한 영향과 관심은 점차 커질 것으로 예상되고 있으며, VC 등급은 이러한 장비들이 놓이는 건축물 및 기초에 대한 진동값의 가이드라인으로 제시할 수 있다.

 2-4. 아래에 VC등급 표 및 그래프 그리고 실제 측정 데이터 사례를 표기 하였다.

Table 1. Generic vibration Criterion VC-Curve

Figure1. VC-Curve

Figure2. Example of VC-Curve